Область интересов лаборатории:
- разработка микро-опто-электро-механических систем (МОЭМС) и приборов на их основе;
- разработка малогабаритных интерферометров для измерения линейных перемещений с субнанометровым разрешением;
- разработка измерительных приборов на основе интерферометров с субнанометровым разрешением;
- разработка позиционирующих устройств c нанометровой точностью для наноиндустрии;
- разработка безлинзовых цифровых голографических систем видения;
- численное моделирование электродинамических, термодинамических и квантовых процессов;
- обработка изображений.
Лаборатория МОЭМС занимается разработкой оптоэлектронных приборов с использованием микро-электро-механических и интегрально-оптических систем, принципов лазерной интерферометрии и методов обработки изображений. Благодаря малым размерам выбранной элементной базы, высокой точности интерференционных методов измерения и специально разработанным методам обработки изображений удаётся создавать уникальные малогабаритные приборы, обладающие повышенной точностью, стабильностью и устойчивостью к изменениям температуры.
Сотрудниками и студентами лаборатории разработаны:
- малогабаритный базовый интерферометр с разрешением 0,015 нм;
- позиционирующее устройство на основе пьезоактюатора с интегрированным интерферометром и системой управления;
- измеритель наноперемещений микрообъектов;
- измеритель толщины оптических покрытий;
- измеритель тяги малых ракетных двигателей;
- измеритель вибраций;
- датчик угла с разрешением 0,5 угл. сек.;
- безлинзовый цифровой голографический микроскоп;
- программное обеспечение для расшифровки и визуализации цифровых голограмм;
- программное обеспечение для численного решения уравнений электродинамики, термодинамики и квантовой физики.
Продукция лаборатории используется российскими и зарубежными промышленными предприятиями и научными лабораториями.
Также в лаборатории проходят практику и выполняют курсовые и дипломные проекты студенты кафедры «Лазерные и оптико-электронные системы» (РЛ-2)